特征X射線及其衍射X射線是一種波長（0.06-20nm）很短的電磁波，能穿透一定厚度的物質，并能使熒光物質發光、照相機乳膠感光、氣體電離。用高能電子束轟擊金屬靶產生X射線，它具有靶中元素相對應的特定波長，稱為特征X射線。如銅靶對應的X射線波長為0.154056 nm。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀是半導體材料的標準裝備，用于： 材料科學和納米技術，半導體材料研究和生產質量控制，可以適用各種應用，尤其適合薄膜分析，例如： 搖擺曲線分析和倒易空間Mapping， 反射率和薄膜相分析，殘余應力和織構分析， X'Pert PRO MRD/ XL 滿足半導體、LED、薄膜和工業材料的所有高分辨XRD分析需要。XL可以滿足直徑達 300 mm的晶片分析，并有精密的自動晶片裝載選擇；XL成為薄膜生產發展的的分析手段，LED的業界標準。

X'Pert PRO MRD/XL高分辯衍射儀技術參數：

1，功率：3kW
2，測角儀重現性：0.0001度
3，測角儀類型：T-2T
4，五維樣品臺